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金铍蒸发料 (YS/T 1069-2015)

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金铍蒸发料 (YS/T 1069-2015)

标准号YS/T 1069-2015状态

发布于:2015-04-30

实施于:2015-10-01

金铍蒸发料

标准号:YS/T 1069-2015

中国标准分类号:H68

国际标准分类号:77.150.99

批准发布部门:工业和信息化部

行业分类:制造业

谢宏潮、阳岸恒、向磊等

贵研铂业股份有限公司、有色金属技术经济研究院

本标准适用于半导体行业用金铍合金蒸发材料。

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