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制备钌靶用钌粉 (YS/T 1068-2015)

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标准号YS/T 1068-2015状态

发布于:2015-04-30

实施于:2015-10-01

制备钌靶用钌粉

标准号:YS/T 1068-2015

中国标准分类号:H68

国际标准分类号:77.150.99

批准发布部门:工业和信息化部

行业分类:制造业

谭志龙、郭俊梅、熊晓东等

贵研铂业股份有限公司、有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院

本标准适用于制备硬盘及集成电路行业钌系溅射靶材用钌粉(以下简称钌粉)。

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