硅片包装 (YS/T 28-2015）

标准号YS/T 28-2015状态

发布于：2015-04-30

实施于：2015-10-01

硅片包装

标准号：YS/T 28-2015

中国标准分类号：H80

国际标准分类号：29.045

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：制造业

王飞尧、孙燕、马林宝等

杭州海纳半导体有限公司、有研新材料股份有限公司、南京国盛电子有限公司等

本标准适用于硅单晶抛光片、外延片、SOI等硅片的洁净包装、硅单晶研磨片(简称硅研磨片)包装和太阳能电池用硅片包装，使其在运输、贮存过程中避免再次沾污和破碎。