化学气相沉积炉 (YS/T 1031-2015）

标准号YS/T 1031-2015状态

发布于：2015-04-30

实施于：2015-10-01

化学气相沉积炉

标准号：YS/T 1031-2015

中国标准分类号：H91

国际标准分类号：77.180

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：制造业

戴煜、 胡祥龙、 胡高健等

湖南顶立科技有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所等

本标准适用于化学气相沉积。