标准号SJ/T 11495-2015状态
发布于：2015-04-30
实施于：2015-10-01
硅中间隙氧的转换因子指南
标准号：SJ/T 11495-2015
中国标准分类号：H82
国际标准分类号：29.045
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
李静、何秀坤、刘兵 等
信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司等
本标准规定了硅中间隙氧的转换因子指南。 标准适用于在室温下测试电阻率大于0.1Ω·cm的n型硅单晶和电阻率大于0.5Ω·cm的p型硅单晶中间氧含量。
