真空溅射镀膜设备 (JB/T 8945-2010）

标准号JB/T 8945-2010状态

发布于：2010-02-21

实施于：2010-07-01

真空溅射镀膜设备

标准号：JB/T 8945-2010

中国标准分类号：J78

国际标准分类号：23.160

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：无

蔡东锋、张远青 等

广东中环真空设备有限公司、成都南光机器有限公司等

本标准规定了真空溅射镀膜设备的基本参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。 本标准适用于压力在1×10-1Pa～1×10-3Pa范围的真空溅射镀膜设备。