标准号YS/T 935-2013状态
发布于：2013-10-17
实施于：2014-03-01
电子薄膜用高纯金属溅射靶材纯度等级及杂质含量分析和报告标准指南
标准号：YS/T 935-2013
中国标准分类号：H68
国际标准分类号：77.150.99
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
张涛、何金江 等
有研亿金新材料股份有限公司
本标准规定了电子薄膜制备用高纯金属溅射靶材的纯度等级的定义方法、杂质含量分析方法、抽样规则及靶材纯度等级报告标准规范等内容。 本标准适用于电子薄膜用各类高纯金属溅射靶材(以下简称靶材)。其他对纯度有较高要求的靶材纯度等级、杂质含量分析及报告规范也可参照使用。
