电子薄膜用高纯钴靶材 (YS/T 1053-2015）

标准号YS/T 1053-2015状态

发布于：2015-04-30

实施于：2015-10-01

电子薄膜用高纯钴靶材

标准号：YS/T 1053-2015

中国标准分类号：H62

国际标准分类号：77.150.70

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：制造业

王学泽、李勇军、郑文翔等

宁波江丰电子材料股份有限公司，有研亿金新材料有限公司

本标准适用于电子薄膜制造用的各类高纯钴靶。