半导体器件外延炉能耗分等 (JB/T 5631-1991）

标准号JB/T 5631-1991状态

发布于：1991-08-27

实施于：1992-07-01

半导体器件外延炉能耗分等

标准号：JB/T 5631-1991

中国标准分类号：J01

国际标准分类号：21-010

批准发布部门：机械电子工业部

行业分类：无

本标准规定了半导体器件外延炉（以下简称外延炉）能耗分等。 本标准适用于电子工业企业外延炉。