标准号SJ/T 10274-1991状态
发布于：1991-11-12
实施于：1992-01-01
掩模对准曝光机测试方法
标准号：SJ/T 10274-1991
中国标准分类号：N38
国际标准分类号：31-550
批准发布部门：电子工业部
行业分类：无
本标准规定了测试掩模对准曝光机的一般要求和方法。 本标准适用于接触式和接触一接近式曝光机。
掩模对准曝光机测试方法 (SJ/T 10274-1991）
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发布于：1991-11-12
实施于：1992-01-01
标准号：SJ/T 10274-1991
中国标准分类号：N38
国际标准分类号：31-550
批准发布部门：电子工业部
行业分类：无
本标准规定了测试掩模对准曝光机的一般要求和方法。 本标准适用于接触式和接触一接近式曝光机。