标准号SJ/T 11181-1998状态
发布于：1998-03-11
实施于：1998-05-01
净化涂胶台通用规范
标准号：SJ/T 11181-1998
中国标准分类号：L97
国际标准分类号：31.020
批准发布部门：电子工业部
行业分类：无
本标准规定了净化涂胶台的定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于制造半导体集成电路专用的净化涂胶设备，其它类型的涂胶设备也可参照使用。
净化涂胶台通用规范 (SJ/T 11181-1998）
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发布于：1998-03-11
实施于：1998-05-01
标准号：SJ/T 11181-1998
中国标准分类号：L97
国际标准分类号：31.020
批准发布部门：电子工业部
行业分类：无
本标准规定了净化涂胶台的定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于制造半导体集成电路专用的净化涂胶设备，其它类型的涂胶设备也可参照使用。