低压化学气相淀积设备通用技术条件 (SJ/T 10311-1992）

标准号SJ/T 10311-1992状态

发布于：1992-06-15

实施于：1992-12-01

低压化学气相淀积设备通用技术条件

标准号：SJ/T 10311-1992

中国标准分类号：L99

国际标准分类号：31-550

批准发布部门：电子工业部

行业分类：无

本标准适用于卧式热壁型低压化学气相淀积设备的设计、制造及工艺应用。其它形式的LPCVD设备的研制亦应参照使用。