溅射离子泵型式与基本参数 (JB/T 4081-1991）

标准号JB/T 4081-1991状态

发布于：1991-07-22

实施于：1992-07-01

溅射离子泵型式与基本参数

标准号：JB/T 4081-1991

中国标准分类号：J71

国际标准分类号：23

批准发布部门：机械电子工业部

行业分类：无

u3000u3000本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数。 u3000u3000本标准适用于二电位的二极型和三极型溅射子泵。