标准号SJ 21122-2016状态
发布于:2016-01-19
实施于:2016-03-01
PVTSiC76SI1-BP01型碳化硅单晶抛光片规范基本信息
标准号:SJ 21122-2016
标准名称:PVTSiC76SI1-BP01型碳化硅单晶抛光片规范
英文名称:Specification for pllished mono-crystallinesilicon carbide wafers of PVTSiC76SI1-BP01
发布部门:科技工业局
发布于:2016-01-19
实施于:2016-03-01
标准号:SJ 21122-2016
标准名称:PVTSiC76SI1-BP01型碳化硅单晶抛光片规范
英文名称:Specification for pllished mono-crystallinesilicon carbide wafers of PVTSiC76SI1-BP01
发布部门:科技工业局