反应离子刻蚀机通用规范 (SJ 21131-2016)

标准号SJ 21131-2016状态

发布于：2016-01-19

实施于：2016-03-01

反应离子刻蚀机通用规范基本信息

标准号：SJ 21131-2016

标准名称：反应离子刻蚀机通用规范

英文名称：General specification for reactive ion etching equipment

发布部门：科技工业局