磷化铟单晶锭退火工艺技术要求 (SJ 21476-2018)

标准号SJ 21476-2018状态

发布于：2018-12-29

实施于：2019-03-01

磷化铟单晶锭退火工艺技术要求基本信息

标准号：SJ 21476-2018

标准名称：磷化铟单晶锭退火工艺技术要求

英文名称：Technical requirements for annealing of InP single crystal

发布部门：科技工业局