干法刻蚀设备工艺验证方法 (SJ 21258-2018)

标准号SJ 21258-2018状态

发布于：2018-01-18

实施于：2018-05-01

干法刻蚀设备工艺验证方法基本信息

标准号：SJ 21258-2018

标准名称：干法刻蚀设备工艺验证方法

英文名称：Technological verification procedures for dry etching equipment

发布部门：科技工业局