MEMS 惯性器件结构设计要求 (SJ 21261-2018)

标准号SJ 21261-2018状态

发布于：2018-01-18

实施于：2018-05-01

MEMS 惯性器件结构设计要求基本信息

标准号：SJ 21261-2018

标准名称：MEMS 惯性器件结构设计要求

英文名称：Structural design requirements for MEMS inertial device

发布部门：科技工业局