碳化硅外延片表面缺陷测试方法 (SJ 21493-2018)

标准号SJ 21493-2018状态

发布于：2018-12-29

实施于：2019-03-01

碳化硅外延片表面缺陷测试方法基本信息

标准号：SJ 21493-2018

标准名称：碳化硅外延片表面缺陷测试方法

英文名称：Test method of surface defects for silicon carbide epitaxial wafers

发布部门：科技工业局