旋涂及热板设备通用规范 (SJ 21315-2018)

标准号SJ 21315-2018状态

发布于：2018-01-18

实施于：2018-05-01

旋涂及热板设备通用规范基本信息

标准号：SJ 21315-2018

标准名称：旋涂及热板设备通用规范

英文名称：General specification for spin-coating and heat-drying platform

发布部门：科技工业局