MEMS 惯性器件湿法腐蚀工艺技术要求 (SJ 21165-2016)

标准号SJ 21165-2016状态

发布于：2016-12-14

实施于：2017-03-01

MEMS 惯性器件湿法腐蚀工艺技术要求基本信息

标准号：SJ 21165-2016

标准名称：MEMS 惯性器件湿法腐蚀工艺技术要求

英文名称：Technical requirements for MEMS inertial devices wet etching process

发布部门：科技工业局