电子级三氯氢硅的化学气相沉积评价方法 (YS/T 1740-2025)

标准号YS/T 1740-2025状态

发布于：2025-04-10

实施于：2025-11-01

电子级三氯氢硅的化学气相沉积评价方法参考件基本信息

标准号：YS/T 1740-2025

制修订：制定

中国标准分类号：H17

国际标准分类号：77.04

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：制造业

标准类别：方法标准

适用范围：适用于硅多晶生产和硅外延用电子级三氯氢硅的质量评价。

电子级三氯氢硅的化学气相沉积评价方法参考件 (YS/T 1740-2025)