光栅式测微仪检定规程 (JJG 989-2004)

标准号JJG 989-2004状态

发布于：2004-09-21

实施于：2004-12-21

光栅式测微仪检定规程基本信息

标准号：JJG 989-2004

标准名称：光栅式测微仪检定规程

起草单位：中国科学院光电技术研究所、中国测试技术研究院

本规程适用于分辨力为0.01μm~1μm，测量范围至100mm的光栅式测微仪的首次检定、后续检定和使用中的检验。