椭偏仪校准规范 (JJF 1932-2021)

标准号JJF 1932-2021状态

发布于：2021-12-08

实施于：2022-06-08

椭偏仪校准规范基本信息

标准号：JJF 1932-2021

标准名称：椭偏仪校准规范

起草单位：中国计量科学研究院、中国兵器工业第二〇五研究所、中国电子科技集团公司第四十一研究所、上海市计量测试技术研究院、陕西省计量科学研究院

本规范适用于波长范围在250nm ~ 2000nm内的椭偏仪的校准。