发布于：2021-12-08
实施于：2022-06-08
标准号：JJF 1932-2021
标准名称：椭偏仪校准规范
起草单位：中国计量科学研究院、中国兵器工业第二〇五研究所、中国电子科技集团公司第四十一研究所、上海市计量测试技术研究院、陕西省计量科学研究院
本规范适用于波长范围在250nm ~ 2000nm内的椭偏仪的校准。
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