标准号T/CCGA 30003—2019状态
发布时间：2019年10月29日
实施时间：2020年01月29日
超纯三氟化氮基本信息
标准号：T/CCGA 30003—2019
团体名称：中国标准化协会
主要技术内容：本标准规定了瓶装超纯三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。本标准适用于电解合成粗品三氟化氮，通过精馏提纯生产的超纯三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺蚀刻剂和化学气相沉积的清洗剂。
中国标准分类号：C266 专用化学产品制造
国际标准分类号：71.100.20 工业气体
发证机关：中华人民共和国民政部
行业分类：工业气体
标准名称：超纯三氟化氮
