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7N 光电子级超纯氨 (T/ZZB 1373-2019)

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7N 光电子级超纯氨 (T/ZZB 1373-2019)

标准号T/ZZB 1373—2019状态

发布时间:2019年11月27日

实施时间:2019年12月31日

7N 光电子级超纯氨基本信息

标准号:T/ZZB 1373—2019

团体名称:中国标准化协会

主要技术内容:本标准规定了7N光电子级超纯氨的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮运及安全要求和质量承诺。本标准规定的产品氨适用于半导体工业,氮化硅、氮化镓的化学气相沉积,也可用于硅或氧化硅的氮化等生产工艺所使用的氨气。分子式:NH3。相对分子质量:17.031(按2016年国际相对原子量)。

中国标准分类号:C261 基础化学原料制造

国际标准分类号:71.100.20 工业气体

发证机关:中华人民共和国民政部

行业分类:工业气体

标准名称:7N 光电子级超纯氨

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