半导体用正胶显影液 (T/CEMIA 030-2022)

标准号T/CEMIA 030-2022状态

发布时间：2022-04-20

实施时间：2022-07-20

半导体用正胶显影液基本信息

标准号：T/CEMIA 030-2022

标准名称：半导体用正胶显影液

起草人：邢攸美、李潇逸、张之钧、赵健、胡涛、李盈盈、陈东良、顾峻、徐文干、孙炜、刘新雨、王琪、周利超、李林佳、余红刚、倪芸岚、陈海刚、杨小平、章帅迪、刘永南、姚艺融、刘为波、翁雪平、傅华、高小云

起草单位：杭州格林达电子材料股份有限公司

本文件规定了半导体用正胶显影液的分类和标记、要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和安全。 本文件适用于半导体用正胶显影液，其主要组分为通过季铵盐化合物电解制得的四甲基氢氧化铵。 四甲基氢氧化铵的基本信息见附录A中的A.1。

半导体用正胶显影液 (T/CEMIA 030-2022)