标准号T/SZZXH 5-2025状态
发布时间：2025-05-30
实施时间：2025-06-01
半导体制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物阀门技术规范基本信息
英文名称：Technical specification for perfluoroalkoxy valves for semiconductor manufacturing
发布部门：深圳市战略性新兴产业发展促进会
标准页数：12页
内容简介：本文件规定了半导体制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物阀门的制造要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于PFA阀门的制造与检验。
