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晶片精密研磨盘用修正轮 (T/WLJC 58-2019)

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标准号T/WLJC 58—2019状态

发布时间:2019年04月22日

实施时间:2019年04月22日

晶片精密研磨盘用修正轮基本信息

标准号:T/WLJC 58—2019

团体名称:中国标准化协会

主要技术内容:标准名称中的“研磨盘”是指晶片双面研磨机的上、下研磨盘。修正轮的材质为灰铸铁或球墨铸铁,用于铸铁研磨盘的修整。外形为齿轮状,厚度25-40毫米,正反面开有刮研槽。标准给出了修正轮常用的6种结构型式,以及6种规格的外径和厚度尺寸、外圈的齿数和模数。标准中对修正轮三项关键指标规定的尺寸公差,代表了国内一流、国际先进技术水平。1)修正轮整个工作面的平面度,本标准规定应≤0.02mm;2)修正轮正反两面的平行度,本标准规定应≤0.005mm;3)修正轮4个或6个为一组,组内各修正轮之间的厚度误差,本标准规定应≤0.02mm。

中国标准分类号:C342 金属加工机械制造

国际标准分类号:25.080.50 磨床和抛光机

发证机关:中华人民共和国民政部

行业分类:磨床和抛光机

标准名称:晶片精密研磨盘用修正轮

本标准规定了晶片精密研磨盘用修正轮的型式规格、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于晶片精密研磨盘用修正轮。

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