金属的化学机械抛光技术研究进展

摘　要　介绍了近年来金属化学2机械抛光(CMP)技术的一些研究进展。内容包括CMP技术的实验方法进展 与抛光效果的表征,CMP设备与消耗品的发展。分析了目前CMP技术存在的问题,提出了可能解决问题的一 些建议。认为定量CMP速率方程的建立是解决好终点在线检测的关键之一。