TOPCon型N-PERT双面太阳电池工艺技术的研究

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该研究围绕TOPCon型N-PERT双面太阳电池的工艺技术展开，重点探讨了如何在N型PERT（钝化发射极背面扩散）电池结构基础上集成隧道氧化层钝化接触（TOPCon）技术，以提升电池效率和双面发电性能。通过优化前表面钝化、背面多晶硅层沉积、金属化接触以及双面电极设计等关键工艺，研究分析了不同参数对电池开压、短路电流和填充因子的影响。最终目标是在实现高转换效率的同时，保持双面率优势，降低制造复杂度与成本，推动高效N型硅基太阳电池的产业化应用。