不同电阻率掺镓硅片与电池扩散工艺匹配研究

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该研究聚焦于不同电阻率的掺镓硅片与电池扩散工艺之间的匹配关系，旨在优化太阳能电池的制备效率。通过实验分析，研究探讨了电阻率变化对扩散均匀性、掺杂浓度及电池性能的影响，发现较低电阻率的硅片在高温扩散过程中更易实现均匀掺杂，而高电阻率硅片需调整工艺参数以避免缺陷。最终提出根据不同电阻率定制扩散温度、时间及气体流量等工艺策略，以提升电池的转换效率和良率。