磁控溅射制备TCO薄膜及其在SHJ太阳电池的应用

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该研究聚焦于利用磁控溅射技术制备透明导电氧化物薄膜，并将其应用于硅异质结太阳电池。通过调控溅射参数，制备出具有高透过率、低电阻率的TCO薄膜，有效提升了SHJ电池的光电转换效率。实验表明，优化的TCO薄膜作为前电极，显著改善了载流子收集和光入射性能，验证了磁控溅射在高效SHJ太阳电池制备中的可行性。