臭氧氧化退火工艺对多晶硅太阳电池的性能影响研究

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该研究探讨了臭氧氧化退火工艺对多晶硅太阳电池性能的影响。通过应用臭氧氧化处理并结合退火步骤，分析了该工艺对电池表面钝化效果、少子寿命、转换效率等关键参数的作用。研究结果表明，适当的臭氧氧化退火条件能够有效改善表面钝化质量，减少复合损失，从而提升电池的开路电压和整体转换效率。此外，该工艺可能影响电池的串联电阻和填充因子。研究为优化多晶硅太阳电池的制备工艺提供了实验依据。