两面连续镀膜热丝CVD及配套量产技术研发进展

该资料大小估算0.99MB，两面连续镀膜热丝CVD及配套量产技术研发进展共18页，pdf格式

该项目目前取得了阶段性进展，重点在于解决两面连续镀膜工艺的均匀性、热丝稳定性及量产效率问题。技术路线已明确，初步实现了小批量连续生产验证，镀膜质量基本满足预设指标。下一步将重点攻克影响产能的瓶颈环节，并进一步优化配套自动化控制系统。