N型铸造多晶硅磷的挥发及分布研究-李鹏廷

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该研究聚焦于N型铸造多晶硅中磷元素的挥发行为及其分布规律。通过实验分析了不同熔炼工艺条件下磷的挥发机制，探讨了温度、时间及气氛等因素对磷挥发的影响。研究还考察了磷在硅锭中的纵向和横向分布特征，揭示了磷含量随凝固过程的变化趋势。结果表明，磷的挥发受热力学和动力学因素控制，且其分布与凝固界面形态密切相关。该工作为优化N型铸造多晶硅的磷掺杂控制提供了理论依据。