等离子体刻蚀过程的APC技术研究进展王巍一．(1．重庆邮电学院光电工程系，叶甜春，刘明重庆400065；2．中国科学，陈大鹏院微电子研究所，北京100029)摘要：先进过程控$1J(APC)是一个多层次的控制系统，其包含了实时的设备及工艺控制和非实时的RtR控制。APC引入等离子体刻蚀过程控制可极大提高刻蚀机的使用效率。针对等离子体刻蚀过程，本文分别从实时控制和RtR控制两个不同层次展开了论述，概述了RtR控制器中所使用的线性回归模型和神经网络模型。最后，讨论了APC技术的发展趋势。关键词：等离子体刻蚀；先进过程控制；实时控制；流程与流程控制
等离子体刻蚀过程的APC技术研究进展