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该研究聚焦于氯硅烷中有机碳含量的检测方法、来源分析及其对后续工艺的影响。通过改进气相色谱-质谱联用技术或化学氧化-红外检测等手段,建立了更准确的有机碳定量方法,系统考察了原料纯度、反应条件及存储过程中有机碳的引入途径。研究结果表明,有机碳杂质会显著影响氯硅烷在下游产品(如多晶硅、有机硅聚合物)中的性能,因此必须对有机碳含量进行严格控制。该工作为工业上氯硅烷的纯化及质量控制提供了理论基础与技术参考。
氯硅烷中有机碳含量的研究