小面积硅太阳能电池单面氧化硅腐蚀工艺的研究

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该研究针对小面积硅太阳能电池，探讨了单面氧化硅腐蚀工艺的优化方法。通过调整腐蚀液浓度、温度及时间等参数，分析了对氧化硅层的去除效果及电池表面形貌的影响。实验结果表明，优化后的工艺能有效去除特定区域的氧化硅，同时保护背面结构，减少表面损伤，从而提高电池的转换效率。该研究为小面积硅太阳能电池的制备提供了工艺参考。