热原子层沉积氧化铝和氧化钛的晶体钝化研究

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本研究聚焦于热原子层沉积技术制备氧化铝与氧化钛薄膜在晶体钝化领域的应用。通过交替引入前驱体反应，在较低温度下获得致密、均匀的氧化物薄膜。实验表明，氧化铝薄膜凭借其高密度及良好的界面特性，能有效降低晶体表面缺陷密度，减少载流子复合；而氧化钛薄膜则因其合适的能带结构及良好的减反作用，进一步优化了钝化效果。二者结合或叠层使用时，能协同提升晶体表面钝化质量，显著延长少数载流子寿命，为高效光伏器件及光电子器件的制备提供了重要基础。