蒸发镀膜设备通用规范 (SJ/T 11185-1998）

标准号SJ/T 11185-1998状态

发布于：1998-03-11

实施于：1998-05-01

蒸发镀膜设备通用规范

标准号：SJ/T 11185-1998

中国标准分类号：L97

国际标准分类号：31.020

批准发布部门：电子工业部

行业分类：无

本标准规定了蒸发镀膜设备的分类与型号命名、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。 本标准适用于极限压力为3×10^(-3)Pa～5×10^(-6)pa范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。