溅射镀膜设备工艺验证方法 (SJ 21256-2018)

标准号SJ 21256-2018状态

发布于：2018-01-18

实施于：2018-05-01

溅射镀膜设备工艺验证方法基本信息

标准号：SJ 21256-2018

标准名称：溅射镀膜设备工艺验证方法

英文名称：Technological verincation procedures for film sputtering equipment

发布部门：科技工业局