平面等厚干涉仪校准规范 (JJF 1100-2003)

标准号JJF 1100-2003状态

发布于：2003-05-12

实施于：2003-11-12

平面等厚干涉仪校准规范基本信息

标准号：JJF 1100-2003

标准名称：平面等厚干涉仪校准规范

起草单位：中国测试技术研究院

本规范适用于平面等厚干涉仪的校准，不适用于只能估读干涉条纹弯曲量的同类干涉装置的校准。