平面等厚干涉仪校准规范 (JJF 1100-2016)

标准号JJF 1100-2016状态

发布于：2016-11-30

实施于：2017-05-30

平面等厚干涉仪校准规范基本信息

标准号：JJF 1100-2016

标准名称：平面等厚干涉仪校准规范

起草单位：中国测试技术研究院、中国计量科学研究院、中国科学院光电技术研究所、中测测试科技有限公司

本规范适用于平面等厚干涉仪的校准。平面等厚干涉仪（以下简称仪器）是采用等厚光波干涉原理，用于物体表面平面度测量（或检测）的光学仪器。按仪器结构分为不带标准平面平晶和带标准平面平晶的两种平面等厚干涉仪。