标准号T/BEA 40001-2022状态
发布日期：2022年01月18日
实施日期：2022年02月09日
感应耦合等离子体发生器校准规范基本信息
标准编号：T/BEA 40001—2022
英文标题：Calibration specification for inductively coupled plasma generator
国际标准分类号：01.020
国民经济分类：M732 工程和技术研究和试验发展
起草人：柴昊、贾军伟、刘民、张书锋、邓星亮
起草单位：北京东方计量测试研究所
范围：本标准适用于真空环境下使用的新制造（或新购置）和修理后的感应耦合等离子体发生器等离子体参数的校准和周期性校准。
内容概括：1范围1.1主题内容本规范规定了感应耦合等离子体发生器的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准结果的处理。1.2适用范围本标准适用于真空环境下使用的新制造……
