标准号T/BEA 40002-2022状态
发布日期：2022年01月18日
实施日期：2022年02月09日
微波ECR等离子体发生器校准规范基本信息
标准编号：T/BEA 40002—2022
英文标题：Calibration Specification for Microwave ECR Plasma Generator
国际标准分类号：01.020
国民经济分类：M732 工程和技术研究和试验发展
起草人：贾军伟、邓星亮、柴昊、刘民、武宇婧
起草单位：北京东方计量测试研究所
范围：本标准适用于真空环境下使用的新制造（或新购置）和修理后的微波ECR等离子体发生器等离子体参数的校准和周期性校准。
内容概括：1范围1.1主题内容本规范规定了微波ECR等离子体发生器的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准结果的处理。1.2适用范围本标准适用于真空环境下使用的新制……
