标准号T/DZJN 521-2026状态
发布日期：2026-03-19
实施日期：2026-03-19
半导体设备用石英材料零部件火加工技术规范基本信息
标准号：T/DZJN 521—2026
英文标题：Technical specification for fire processing of quartz material components for semiconductor equipment
国际标准分类号：81玻璃和陶瓷工业
国民经济分类：C 制造业
起草人：-
起草单位：-
适用范围：-
内容概括：石英材料零部件火加工的堆料、焊接、对接、折弯加工、火补修理的工艺规程，以及石英火加工零部件的质量检测方法、环境管控、清洗要求、设备及辅料要求和焊工要求。……
