标准号T/IAWBS 002—2017状态
发布时间：2017年12月20日
实施时间：2017年12月31日
碳化硅外延片表面缺陷测试方法基本信息
标准号：T/IAWBS 002—2017
团体名称：中国标准化协会
主要技术内容：本标准规定了功率器件用碳化硅外延片表面缺陷的无损光学测量方法。本标准适用于同质的超过（含）2微米厚的碳化硅外延层。
中国标准分类号：C398 电子元件及电子专用材料制造
国际标准分类号：29.045
发证机关：中华人民共和国民政部
行业分类：
标准名称：碳化硅外延片表面缺陷测试方法
