标准号T/IAWBS 003—2017状态
发布时间：2017年12月20日
实施时间：2017年12月31日
碳化硅外延层载流子浓度测定_汞探针电容-电压法基本信息
标准号：T/IAWBS 003—2017
团体名称：中国标准化协会
主要技术内容：本标准规定了碳化硅（4H-SiC）外延层载流子浓度的测定方法─汞探针电容－电压法。 本标准适用于单层同质碳化硅外延层载流子浓度的测量，要求测量的碳化硅外延层厚度必须大于测试偏压下耗尽层的宽度。载流子浓度测量范围为：1×1014 cm-3 ～5×1017 cm-3。 本标准也可适用于碳化硅衬底载流子浓度的测量。
中国标准分类号：C398 电子元件及电子专用材料制造
国际标准分类号：29.045
发证机关：中华人民共和国民政部
行业分类：
标准名称：碳化硅外延层载流子浓度测定_汞探针电容-电压法
