金刚线切割的多晶PERC太阳电池背叠层钝化工艺的优化

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本研究聚焦于金刚线切割的多晶PERC太阳电池背叠层钝化工艺的优化。通过调整沉积条件、退火温度及膜层结构等参数，改善了氧化铝与氮化硅叠层钝化膜的质量，降低了界面缺陷密度和表面复合速率。优化后的工艺有效提升了电池的少子寿命和开路电压，最终使电池转换效率显著提高，同时兼顾了量产可行性与成本控制。